產(chǎn)品分類
更新時間：2025-06-12 
瀏覽次數(shù)：89
NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動
優(yōu)良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
選購件
可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。
• 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
• 排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
• 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
• 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。
• 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
技術(shù)參數(shù)
外形尺寸圖
抽氣速率曲線
* 1 極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。
* 2 無結(jié)露。
* 3 用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
* 4 氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。
關(guān)于我們
公司簡介榮譽資質(zhì)資料下載產(chǎn)品展示
GF-603AWP最小稱重1.8g日本AND精密天平 GF-403AWP可讀性0.001 克AND精密天平 GX-203AWP防止損壞重量傳感器AND精密天平 GX-224A日本AND最小穩(wěn)重120mg精密天平 GF-324A雙向 USB 接口日本AND高級精密分析天平服務(wù)與支持
技術(shù)文章新聞中心聯(lián)系我們
聯(lián)系方式在線留言版權(quán)所有 © 2025 北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司 備案號：京ICP備17005343號-5
技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登陸 sitemap.xml
電話：TEL
地址：ADDRESS
掃碼關(guān)注我們
我的位置：
上一篇：
在線咨詢
返回頂部